大型放射光施設 SPring-8

公開日

2011年09月16日

　産学官連携功労者表彰は、大学、公的研究機関、企業等の産学官連携活動において、大きな成果を収め、また、先導的な取組を行う等、産学官連携の推進に多大な貢献をした優れた成功事例に関し、その功績を称えることにより、我が国の産学官連携の更なる進展に寄与することを目的として、平成15年度より行われています。SPring-8ユーザーである名古屋大学大学院の堀勝教授ほかが第9回産学官連携功労者表彰において、科学技術政策担当大臣賞を受賞されました。表彰式は、9月22日開催の「第10回産学官連携推進会議」にて行われます。

科学技術政策担当大臣賞

事例名：
「ラジカル計測・制御及び広帯域超短パルス光」の開発

受賞者：
堀 勝
名古屋大学大学院工学研究科 教授
同研究科附属プラズマナノ工学研究センター　センター長

後藤 俊夫
名古屋大学大学院工学研究科 名誉教授
中部大学　副学長・教授

西澤 典彦
名古屋大学大学院工学研究科 准教授
ＮＵシステム株式会社 取締役

名古屋大学 堀勝教授

受賞理由：
　名古屋大学の堀勝教授と後藤俊夫名誉教授は、超コンパクトラジカルモニタリング装置、自律型プラズマナノ製造装置などを開発^（＊）し、これらの装置を用いて、従来不可能であったラジカル制御プラズマプロセスを確立した。これらの装置の開発には、名古屋大学西澤典彦准教授らによる光制御技術が大きく貢献している。これらの技術は、大規模集積回路など電子デバイスの更なる性能向上、高精度光計測システム等を実現する上で不可欠な技術であり、極めて広い分野への波及が期待できる。また、製品化にはベンチャー企業2社が連携し、さらに技術移転のためのプラズマ技術産業応用センターが設置されるなど産学官連携において優れた事例である。

^（＊）これらの装置の開発には、堀教授がSPring-8の放射光を利用して行った新規カーボンナノ構造体カーボンナノウォールの電子物性に関する研究（表面界面構造解析ビームラインBL13XU、軟Ｘ線光化学ビームラインBL27SUを使用）、および、配向カーボンナノウォールのＸ線結晶構造解析（産業利用ⅠビームラインBL19B2、表面界面構造解析ビームラインBL13XUを使用）などの基礎研究が貢献している。