大型放射光施設 SPring-8

Speaker : 水野 潤

Language : 日本語

Affiliation : 早稲田大学ナノ・ライフ創新研究機構

Title : ナノ・マイクロファブリケーションと新規機能性デバイスの創製

Abstract:
昨今、微細加工が応用される分野は半導体やマイクロデバイスだけでなく、光学やバイオ、医療機器、そして材料開発の分野にまで拡がっています。
その微細加工については半導体技術を応用したマイクロ・ナノファブリケーション（ＭＥＭＳ）、及び３Ｄプリンター、ナノインプリント等が駆使されている。
我々は現在、微細加工応用分野の新しい可能性を探すためにミリからナノサイズに至る、医療・ヘルスケア・低環境負荷・エネルギー用デバイスの研究を行っています。
そこで、本講演では、以下に開発した技術やデバイスについて紹介する。
カプセル内視鏡アクチュエータ、細胞ソーティングチップ、血液評価チップ、血球分離マイクロチップ、触圧センサ、炭素材料FLCMの電気二重層キャパシタ、マイクロ流体有機ＥＬ、ナノ構造制御による高機能ガラス、3次元エレクトロニクス実装技術、サブミクロン３Ｄ構造体

(1) N. Kobayashi, T. Kasahara, T. Edura, J. Oshima, R. Ishimatsu, M. Tsuwaki, T. Imato, S. Shoji, J. Mizuno,
“Microfluidic White Organic Light-Emitting Diode Based on Integrated Patterns of Greenish-Blue and Yellow Solvent-Free Liquid Emitters”
Scientific Reports | 5:14822 | DOI: 10.1038/srep14822

(2) Y. Shirasaki, M. Yamagishi, N. Suzuki, K. Izawa, A. Nakahara, J. Mizuno, S. Shoji, T. Heike, Y. Harada, R. Nishikomori, O. Ohara, “Real-time single-cell imaging of protein secretion”,
Scientific Reports, 4 (2014) 4736.(1-8)

(3) M. Nimura, J. Mizuno, S. Shoji, K. Sakuma, H. Ogino, T. Enomoto, A. Shigetou,
“Hybrid Au-Adhesive Bonding Using Planar Adhesive Structure for 3-D LSI”,
IEEE TRANSACTIONS ON COMPONENTS, PACKAGING AND MANUFACTURING TECHNOLOGY, VOL. 4, NO. 5, MAY 2014 pp762-768

(4) T. Funabashi, J. Mizuno, M. Sato, M. Kitajima, M. Matsuura, S. Shoji
“Film of Lignocellulosic Carbon Material for Self-Supporting Electrodes in Electric Double-Layer Capacitors”,
APL Mater. 1, 032104(1-8) (2013); doi: 10.1063/1.4820430

(5) A. Usui, T. Matsueda, H. Goto, H. Sunakawa, Y. Fujiyama, Y. Ishihara, A. Okada, S. Shoji, A. A. Yamaguchi, H. Nishihara, H. Shinohara, H. Goto, J. Mizuno，
“GaN Lateral Overgrowth by Hydride Vapor Phase Epitaxy through Nanometer-Size Channels Fabricated with Nanoimprint Lithography”,
Japanese Journal of Applied Physics 52 (2013) 08JB02

担当者 : 室 隆桂之
Mail : muro@spring8.or.jp
PHS : 3869