大型放射光施設 SPring-8

　理研分析科学IIビームラインBL16B2では2025B第I期よりX線トポグラフィ実験の共用供出を開始する予定です。これに先立ちより多くのユーザに周知を行うためにBL16B2においてハイスループットX線トポグラフィ装置の見学会を行います。
　本見学会では、装置の操作環境、装置の動作状態および参加者の試料のデモンストレーション測定を見ることを通じて、ハイスループットX線トポグラフィの測定装置の特徴や利用に際しての留意点を参加者に学んでいただき、今後の実験計画の立案に資することを目的としています。
　ハイスループットX線トポグラフィ装置は直径300mmのウェハを設置可能な試料台、ウェハ面内を±100mm走査可能なXYステージ、およびデジタルX線カメラを有していることが特徴の回折計です。試料ステージには大開口が設けられており、透過配置での測定も可能です。試料を走査しながらデジタルX線カメラでX線トポグラフ像を自動的に取得することで広い範囲を高分解能で観察することが可能であり、従来のX線フィルムや原子核乾板を用いた観察と同等の画質のX線トポグラフ像を現像作業無しで且つ定量的なX線強度で得ることができます。
　測定を希望する参加者の試料に関しては、個別に検討を行った後に、見学会前に試料を送っていただき予め測定条件を確認しておく予定です。
　試料の測定はSPring-8スタッフが行うため、参加者の放射線作業従事者登録は不要です。

対象者：X線トポグラフィ実験の課題申請を検討中の方

参加者試料：
○ 安全、法規上問題のないもの
○ 汚染、破損、紛失しても構わないもの
○ 他参加者の目にふれても構わないもの
※測定は、室温・大気中で行います。
※試料については、必ず見学会の前にご相談ください。
※データ持ち帰り用に、USB3.0接続のHDDもしくはSSD（空き容量100GB程度）を持参して下さい。

参加費：無料

募集定員：15名程度
試料持ち込み最大5グループ、1グループ3名以内
各参加者グループあたり1サンプル、30-40分程度

参加登録：
※所属先等のセキュリティ設定により、参加登録ボタンから（Googleフォーム）の参加登録ができない場合はこちらからお申込みください。

こちらから参加登録をお願いします。
(募集期間：2025年3月24日-4月25日)

申し込み締め切り：
2025年4月25日（金） 12:00
※見学会参加者の放射線作業従事者登録は不要です。
※試料の測定はSPring-8スタッフが行います。
（応募者多数の場合は、締切日以前に募集を終了することがあります。）

問合せ先
ご質問、ご要望はメールでお願い致します。
実習担当：（内容等について）
（公財）高輝度光科学研究センター
産業利用・産学連携推進室
担当 ：梶原 堅太郎
e-mail ：kajiwaraspring8.or.jp

事務局：（手続き等について）
（公財）高輝度光科学研究センター
利用推進部 普及情報課
担当：辻本
Tel：0791-58-2785 Fax：0791-58-2786
e-mail :jasri-event@spring8.or.jp