潤滑剤のX線反射率測定
問い合わせ番号
SOL-0000001400
ビームライン
BL19B2（X線回折・散乱 II）
学術利用キーワード
| A. 試料 | 有機材料 |
|---|---|
| B. 試料詳細 | 高分子有機材料, 膜 |
| C. 手法 | Ｘ線弾性散乱 |
| D. 手法の詳細 | 反射、屈折 |
| E. 付加的測定条件 | 室温 |
| F. エネルギー領域 | Ｘ線（4～40 keV) |
| G. 目的・欲しい情報 | 構造解析 |
産業利用キーワード
| 階層1 | 記憶装置, 化学製品 |
|---|---|
| 階層2 | HD、MO |
| 階層3 | 被膜、潤滑剤 |
| 階層4 | 密度, 膜厚 |
| 階層5 | 反射率 |
分類
A80.10 エレクトロニクス, M10.50 反射率法
利用事例本文
本事例ではハードデイスク用潤滑剤についてX線反射率測定を行い、潤滑剤の膜厚を解析しました。X線反射率測定は、従来の方法では測定が困難であった極く薄い膜でも精度よく測定できる手法です。この例では高輝度で指向性が高い放射光を用いることにより約10桁のダイナミックレンジで測定できました。このデータから、潤滑剤の厚さが約0.7nmであることがが明らかになりました。
Si基板（茶色）及び潤滑剤を塗布した基板（青色）からのX線反射率の測定結果。縦軸の単位は対数
画像ファイルの出典
私信等、その他
詳細
広沢作成（試料は松村石油 坂根氏）
測定手法
X線反射率測定では、膜の表面及び基板界面で反射されるX線の入射角依存性を測定することによって膜厚、膜密度及び表面や界面の粗さについての知見が得られます。この例では、基板に塗布した潤滑剤ばかりでなく、塗布前に基板表面に形成された酸化膜の密度や厚さが得られます。
画像ファイルの出典
図なし
測定準備に必要なおおよその時間
1 シフト
測定装置
| 装置名 | 目的 | 性能 |
|---|---|---|
| 多軸回折計 | 散乱、回折の測定 | ４軸＋２軸 |
参考文献
| 文献名 |
|---|
| S. Pershan&A. Nielsen., Phys. Rev. Lett. 52,759 (1984) |
関連する手法
エリプソメトリ、赤外吸収分光
アンケート
本ビームラインの主力装置を使っている
測定の難易度
初心者でもOK
データ解析の難易度
中程度
図に示した全てのデータを取るのにかかったシフト数
1シフト以下